AOP双面厚度检测设备能同步非接触式测量产品表面和底面的对应位置，有效避免由于接触区域受力不均匀产生支撑面变形导致的测量误差。不但能得到产品上每一个点的厚度值，还能分析得到平面度，平行度和每个面的几何尺寸。

产品概览

    AOP双面厚度检测设备能同步非接触式测量产品表面和底面的对应位置，有效避免由于接触区域受力不均匀产生支撑面变形导致的测量误差。不但能得到产品上每一个点的厚度值，还能分析得到平面度，平行度和每个面的几何尺寸。
● 快速准确的厚度测量
● 模块化设计
● 高效率的大测量面积
● 灵活且易于自动化
● 定制的用户界面
● 定制数据分析
● 非接触非破坏性
    AOP-厚度平台配了高精度XY工作台，测量范围最大为400x400毫米。两个高速线或点传感器可实现2至145毫米的高度测量范围，垂直分辨率为0.2至5微米。Solarius SolarScan软件提供了自动化功能以及定制的配方。模块化的系统设计为定制分析工具提供了较大的灵活性。

行业应用

    随着机械工程，能源技术，半导体及消费电子 行业中材料和产品的不断发展，各个行业对于半成 品和成品快速精确监控要求越来越高。为此，Solarius专门针对各种产品厚度检测需 求研发了综合性检测系统，即AOP厚度检测设备，AOP能够同步测量产品表面和底面的对应位置。这一上下同时检测厚度和尺寸的能力有效 避免了由于接触区域受力不均匀产生支撑面变 形导致的测量误差。上下表面形貌同步测量不但能够得到产品上每一点的厚度值，而且能够分析得到平面度，平行度和每个面的几何尺寸。
 

 

     特别是对于研发和入门制造目的，气体层条件也是必不可少的。3D光学表面测量系统可以详细查看几何形状，结构，纹理，粗糙度和许多其他技术参数，并允许检查缺陷及其起源进行溯源。

晶圆总厚度变化（TTV) & 透明表面层厚

    理想的晶圆是一个上下表面完全平整并且相互完美平行的圆盘，而实际上，加工工艺的限制会在原始晶圆表面造成各种偏差。总厚度变化（TTV）受到所有的后续制程影响，弯曲度（bow）和翘 曲度（warp）则受到部分后续制程影响,因此都必须予以监控。
    光学透明的材料无需表面具有台阶或者从上下两面同时检测才能 测量厚度；通过共聚焦测量技术原理和有关折射系数的知识，我们可以同时测量上层和下层表面形貌进而将对应位置的高度相减得到表面任意位置厚度。这一原理同样适用于透明涂层和玻璃。

电池尺寸

    当前的锂电池集高能量密度，高输出电压和小尺寸于一体，目 的是尽量减小终端设备上的空间占用同时保证长续航时间。这就要 求控制尺寸以确保电池最终能够准确地安装到终端设备上。除了单 纯的尺寸检查，也需要同时检测平行度和平面度。Solarius的自动 化电池检测解决方案同时测量电池上下两侧并给出结果判定，瑕疵部件被自动进行筛选分类。