日立TM4000扫描电镜独特的低真空系统使得样品不需任何处理即可快速进行观察。TM4000优化提供5kV、10kV、15kV三种不同电压下的观察模式，每种模式下电流4档可调，并配备4分割背散射探测器，可采集四个不同方向的图像信息，对样品进行多种模式成像。具有全新的SEM-MAP导航功能，同时，电镜图片可以报告形式导出。配备大型样品仓，可容纳样品直径≤80mm，厚≤50mm。
      TM4000Plus是在TM4000基础上增加高灵敏度低真空二次电子探头UVD，该探头在低真空环境下具有很好的成像质量。TM4000Plus可将二次电子图像和背散射电子图像叠加并实时进行显示，获得非常多的样品信息。可选配附件丰富，拥有诸多附加功能。
 

观察图像3分钟。可迅速获得所需数据，并制作报告。

观察与分析的灵活性
自动获取各类数据。快速切换！

*1TM4000PlusⅡ的功能。
*2选配
 

使用Camera Navi*的话，就是如此简单
Camera Navi图像让您轻松找到视野，分布图(MAP)功能全程支持您的观察

可在低真空的条件下进行二次电子像（表面形状）观察。
无需预处理，也可以观察绝缘物和含水、含油样品的表面
不仅是观察传统的导电性样品，还可以在无预处理的条件下观察绝缘物和含水、含油样品。可快速进行二次电子像与背散射电子像之间的切换。
高感度低真空二次电子检测器
采用高感度低真空二次电子检测器(UVD)。通过检测由于电子线与残留气体分子之间的碰撞而产生的光，可以观察带有二次电子信息的图像。此外，通过控制该检测器，来检测电子照射所产生的光，可以获得CL信息（UVD-CL：带有CL信息的图像）。

高感度低真空二次电子检测器的检测原理

可支持加速电压20 kV
TM4000Ⅱ/TM4000Plus II可支持加速电压20 kV。
凭借EDS分析（选配），可进行更高计数率解析。
通过加速电压20 kV，实现EDS元素分布图的高S/N化

Multi Zigzag（选配）
可实现在广域范围内进行SEM观察。
搭配自动马达台，可实现低倍率，高精度，大范围的观察分析。

EM 样品台（选配）
可轻松观察 STEM 图像
与全新开发的 STEM 样品台和高灵敏度低真空二次电子检测器(UVD)配合使用，可轻松观察小倍率 STEM 图像。
可轻松观察薄膜样品和生物样品。

* UVD为 TM4000Plus II上的配件。

样品：研磨剂
加速电压：20 kV
观察信号：(a) STEM 图像, (b) 背散射电子像
放大倍率：10000 倍
 

技术规格：