引 言
扫描电子显微镜的简称为扫描电镜,英文缩写为SEM (Scanning Electron Microscope)。SEM与电子探针(EPMA)的功能和结构基本相同,但SEM一般不带波谱仪(WDS)。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面,通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱(EDS)组合,可以进行成分分析。所以,SEM也是显微结构分析的主要仪器,已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。
SEM与EPMA是分别发展起来的,SEM商品是1965年问世,当时分辨率约为25nm。我国1973年研制,已生产多种型号的SEM。国产机的分辨率和可靠性等方面与进口机器相比,还有一定的差距,现在SEM主要靠进口。日本每年生产SEM约1600台,国内现有SEM超过500台。
扫描电镜结构原理
1. 扫描电镜的工作原理及特点
扫描电镜的工作原理与闭路电视系统相似
扫描电镜成像示意图
扫描电镜成像示意图
2.
扫描电镜的主要结构
主要包括有电子光学系统、扫描系统、信号检测放大系统、图象显示和记录系统、电源和真空系统等。
比 较
透射电镜一般是电子光学系统(照明系统)、成像放大系统、电源和真空系统三大部分组成。
扫描电子显微镜