NanoFocus共聚焦显微镜μsurf系列技术原理及应用优势
2018-11-02 15:36:15
基于NanoFocus 专利技术（多孔转盘共聚焦）的μsurf传感器技术。在几秒钟内，获得样品表面微观形貌、粗糙度和透明层厚度。
这个NanoFocus共聚焦显微镜包括LED光源、多孔转盘、压电陶瓷驱动的物镜和CCD相机。
由LED光源发出的光束经过一个多空转盘MPD和物镜后，聚焦到样品表面上；之后光束经样品表面反射回到测量系统并在此通过MPD上的小孔后经过半反半透镜反射后只有聚焦位置的反射光束才能经过CCD前的小孔并在相对应的CCD像素上成像。多孔转盘通过高速旋转，高效率完成全部样品表面扫描。
传统光学显微镜的图像包含清晰和模糊的细节。相反，在共聚焦图像中，通过多孔转盘将模糊细节（未聚焦）滤除，只有来自焦平面的反射光到达CCD相机。因此，共聚焦显微镜能够获得纳米级别的高分辨率。
每个共聚焦图像都是样品形貌的水平切片。共聚焦显微镜通过压电驱动使物镜精确垂直位移来实现在不同高度位置的图像堆栈。通常在几秒钟内捕获数百个共聚焦图像，之后软件采用高精度共聚焦算法利用共聚焦图像堆栈重建精确的三维图像。
μsurf技术在微米和纳米范围的表面表征方面具有许多优点。
与SEM（x，y）不同，μsurf提供真实三维坐标（x，y，z）数据。只有这些定量数据才能够对三维表面参数进行精确表征，从而传递关于表面纹理的更大范围的信息。μsurf系统的测量不需要以前的样品制备。
在许多工业部门中，标准的测量方法是接触式测量。美国国家标准与技术研究所（NIST）进行的一项独立的第三方研究表明，μsurf技术与触觉系统的相关性最高（99%）。此外，要检查的材料的硬度的差异是不相关的，因为系统在不接触和破坏表面的情况下工作。
μsurf一目了然特点可以概括为以下几点：
1.NanoFocus拥有自己的特有的专利技术和发展前景
2.其快速的数据采集
3.纳米级超高分辨率
4.全面的测量数据并且保证精确度
5.无需样品制备
6.其非接触性测量也很好保证产品表面不被破坏。
7.获得真实三维测量数据
8.独立于材料特性如颜色或硬度
9.测量符合DIN标准
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