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日立扫描电镜

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日立Regulus8100冷场发射扫描电镜

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主要特点:
1. 配备加速电压减速功能,低加速电压成像能力,1kV分辨率可达1.1nm
2. 日立专利E×B技术,无需喷镀,可直接观测不导电样品
3. 配备电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能
4. SE与BSE任意比例搭配功能

应用领域:
1.纳米材料
2.半导体器件
3.高分子材料
4.生物医学
5.新能源

      现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
    "Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。
    通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
    此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1
    Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的优良性能。







 
技术参数表:
 
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