新型、数字化测量显微镜。主要用于机械加工车间、检测室的尺寸测量和数据处理。设计结构紧凑、占用面积小，重量轻；白色LED光源寿命较长；测量数据准确，载物台固定设计，使安装、操作更简单。
●MM400载物台型号6X4，行程150(X)×100(Y)mm， 承载能力≤10Kg
●MM800载物台型号12X8，行程300(X)×200(Y)mm， 承载能力≤20Kg
●可支持的被测工件高度≤150mm-200mm

》概述

MM-400/800系列结合了先进测量显微镜的主要性能特点：
●更高的精确度
●数字成像和视觉处理计量学
●更大的阶段，用于增加样品处理
●非接触Z高度测量
●与数据处理系统DP-E1A的协调
 
可用于不同应用的10个主体
对于大行程平台（ 大300mm x 200mm x 200mm）
●MM-800/LM：电动Z轴
●MM-800/L：内置Z线性光栅尺
●MM-800：2轴测量机型
●MM-800/秒：用于第三方DRO
●MM-800/SL：用于内置Z线性光栅尺的第三方DRO
 
对于较小行程平台（ 大150mm x 100mm x 150mm）
●MM-400/LM：电动Z轴
●MM-400/L：内置Z线性光栅尺
●MM-400：2轴测量机型
●MM-400/S：用于第三方DRO
●MM-400/SL：用于内置Z线性光栅尺的第三方DRO
 
特性
300x200mm平台

增加的机身强度允许使用更大的工作台，例如PS12x8C工作台，从而允许使用更大的工件。
 
MM控制器背包接口

高强度白色LED照明器是明场使用的标准配置。该照明器无需更换灯泡，色温恒定，测量精度高，效率高。
 
辅助对焦（FA）
提供清晰的图案，以便在Z轴测量期间精确聚焦。将因不同目标的聚焦深度不同而产生的测量误差降至 低。

》规格

》应用

半导体封装、键合位置、弧高、FPD面板（LCM）MEMS、晶圆级CSP、HDD Sliders。