随着科技的日新月异,产品的规格要求越来越精细,使得量测工具必須能配合产品跟着提高精度,一般的量測仪器已无法满足工业界量測上的需求。 VMR-H3030 以超高精密度和多样性功能提供給您优良的量测品质。
●NIKON的双Y轴光学尺,可校正载物台移动时可能会造成的扭力变形,并改良光学尺的刻度。
●为了避免震动影响到量测结果的正确性,VMR-H3030改良了机体的结构,增加了抗动性以减低震动对量测所造成的影响。
●先进的载物台的设计,对于XY方向移动所可能产生的额外应力,因而导致载物台不在原定光学尺的轨道上滑动,使得量测数据产生误差的六大因素,进行矫正预防措施。
对于生产线扩大,正在评估新的检验设备的评估者而言,是否要购买专用机或是泛用机是考虑新设备时必要的决定。若是购买专用机,不仅价格高昂,而功能上却不具延伸性,无法面面俱到。在种种的因素考虑下,让很多评估者陷入两难,是否需要购买单一用途且价格不俗的专用机?还是购买多用途但相对精度不高的影像量测机?对于有这样疑问的采购者,VMR-H3030为这样的难题找到了一举两得的解决方案。
适用产业:研究实验室、高精度模具、光罩微机电系统、晶圆凸点 … 等。
》概述
高精度的NEXIV系列
以NEXIV系列中高精度实现测量,并具有先进的可用性和性能。VMZ-H3030结合了尼康VMZ-R系列新技术的特点,以实现高精度和生产力,并具有较好的易用性。适用于需要通过高精度测量进行严格质量控制的应用。
拥有高精度的NEXIV机型
EUX,MPE,EUY,MPE: 0.6+2L/1000μm
EUZ,MPE: 0.9+L/150μm
XYZ行程:300x300x150mm
五种类型的光学变倍系统
变倍镜头 | 光学放大倍率 | 应用 |
类型1 | 0.5X-7.5X | 模具、机械零件(家用、汽车)、PCB、电子零件、陶瓷零件 |
类型2 | 1X-15X | |
类型3 | 2x-30X | 电子部件 |
类型4 | 4X-60X | 高密度封装基板(线宽、高度) |
类型TZ | 1X-120X | 晶圆图案(晶圆级封装、焊球高度、重布线掩模、微机电系统掩模) |
》技术规格
规格
行程(X,Y,Z) | 300x300x150mm |
读数 | ≥0.01μm |
样品重量 | ≤30kg(精度保证:10kg) |
允许误差(样品质量小于20kg) | EUX,MPE, EUY,MPE: ≤0.6 + 2L / 1000 μm EUXY,MPE: ≤0.9+3L / 1000 μm EUZ,MPE: ≤0.9+L / 150 μm |
保证精度的温度 | 20℃±0.5K |
驱动速度XY,Z | ≤100mm/S,50mm/S |
驱动速度XY,Z | ≥0.01mm/S,0.001mm/S |
相机 | 1/3’’黑白CCD,1/3’’彩色CCD *仅在类型1,2,3下可选彩色相机 |
工作距离 | 类型1,2,3:50mm(10mm,使用75°LED照明) 类型4:30mm 类型TZ:31mm(低倍率),11mm(高倍率) |
放大倍率以及视场 | 类型1:0.5-7.5x/9.33x7.01-0.622x0.467mm 类型2:1-15x/4.67x3.5-0.311x0.233mm 类型3:2-30x/2.33x1.75-0.155x0.117mm 类型4:4-60x/1.165x0.875-0.078x0.058mm 类型TZ:1-120x/4.67x3.5-0.039x0.029mm |
自动聚焦 | 影像AF,激光AF |
照明 | 类型1,2,3和4反射光、透射光和8段三角度环形光源 *所有白光LED/类型4仅仅只有一种光源角度 类型TZ;反射光、透射光以及暗场 |
电源 | 交流电100-240V±10% 50、60Hz |
功耗 | 5A-2.5A |
外形尺寸(WxDxH)&质量 | 含平台主体:1000x1125x1750mm/约500kg 控制器:190x450x440mm/约15kg |
占地面积宽x长) | 3000x2800mm |
尺寸图
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